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性能と効率の向上を目指した第3世代SiC MOSFETを電源設計に適用する方法 (Digi-Key社【アプリケーションラボ】技術解説記事のご紹介)

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No.1675 2023.2.7
  性能と効率の向上を目指した第3世代SiC MOSFETを電源設計に適用する方法
(Digi-Key社【アプリケーションラボ】技術解説記事のご紹介)
 
 
 「アプリケーションラボ」は、Digi-Key社のご協力をいただいて、Digi-Key社が公開している新製品や技術情報を日本語でご紹介するWebページです。基礎技術から最新技術まで有益な情報を公開していますので、是非ご活用ください。

 今回は、現在最も注目されている電気自動車やエネルギー貯蔵システムなどに不可欠なSiC(シリコンカーバイド)MOSFETについて解説した記事をご紹介します。

性能と効率の向上を目指した第3世代SiC MOSFETを電源設計に適用する方法

 パワー半導体は、モータの駆動やAC/DCコンバータ、DC/DCインバータなどに使用される高い電圧や大電流で動作する半導体です。電気自動車(EV)の普及や環境発電の要求などにより、今後ますますパワー半導体が重要になると考えられています。

 パワー半導体はスイッチングデバイスとして使用されるので、スイッチング速度が速いこととドレイン-ソース間のオン抵抗が小さいことが特に重要です。そのため、半導体の材料といえばシリコン(Si)が一般的ですが、パワー半導体にはSiCやGaN(窒化ガリウム)などのワイドバンドギャップ半導体が適しています。

 特にSiCは、Siに対して次のような利点があります。 
(1) 破壊電界強度はSiが0.3MV/cmであるのに対しSiCは2.8MV/cmと高いため、薄い膜厚でも動作可能で、オン抵抗を大幅に抑えられる。
(2) 熱伝導率が高く、断面積あたりの電流密度を高くできる。
(3) バンドギャップが広いため、高温でのリーク電流を低く抑えられる。
(4) テール電流が少なく、ターンオフ時のスイッチング損失が少ない。
(5) 最大動作温度がSiは125℃であるのに対し、SiCは約200℃の高温で動作するため、熱設計と熱管理が容易。

 SiCは、上記のような利点をもっていますが、実用化するには様々な問題を克服する必要がありました。例えば、第1世代のSiCは信頼性の問題で普及しませんでした。パワーMOSFETの電源とドレインの間にできるPNダイオードに電圧がかかると通電してオン抵抗が変化し、デバイスの信頼性が低下します。このPNダイオードは、MOSFETの構造上で形成されるものでボディダイオードと呼ばれます。

 そこで、第2世代のSiCでは、PNダイオードと並列にショットキーバリアダイオード(SBD)を配置しました。SBDはオン状態の電圧がPNダイオードよりも低いため電流はSBDを流れ、PNダイオードの通電を防止することができます。ただし、これにより信頼性は向上しましたが、オン抵抗とスイッチング速度が犠牲になりました。そのためチップ面積を広くすることで実用化されましたが、コストアップが避けられませんでした。


東芝のSiC MOSFETの構造(左:第2世代、右:第3世代)
 
 東芝は、電流拡散層の構造を最適化することで上記の弱点を克服する、TWxxxN65C / TWxxxN120Cファミリと呼ばれる第3世代のSiCを開発しました。このファミリは、P型の広い拡散領域の下側に窒素を注入することで広がり抵抗を削減し、SBDに流れる電流を増加させました。これによりオン抵抗が減少します。さらに、JFETの領域を縮小して窒素を注入し、帰還容量とJFET抵抗を低減しました。こららの改善により、高速性を表す性能指数は第2世代と比較して80%低減され、スイッチング損失も約20%低減されました。

 【アプリケーションラボ】の解説記事では、SiC MOSFETの特徴とSiC MOSFETを使用するメリット、SiC MOSFETが第1世代から第3世代までどのように改善が進められたかを詳しく解説しています。そして、東芝のTWxxxN65C / TWxxxN120Cファミリの仕様を紹介しています。

 例えば、TW015N65Cは、耐圧650Vで100Aおよび342W定格のNチャンネルデバイスです。入力容量が4,850pF、ゲート入力電荷は128nCと低く、オン抵抗はわずか15mΩです。デバイス名から、オン抵抗と耐圧がわかります。

 ここで解説されているデバイスは、マルツオンラインのウェブサイトで購入できますので、是非参考にしてください。
耐圧650V/15mΩ SiC MOSFET
【TW015N65C】
単価:¥9,622 (税込)
耐圧650V/107mΩ SiC MOSFET
【TW107N65C】
単価:¥1,750 (税込)
耐圧1200V/15mΩ SiC MOSFET
【TW015N120C】
単価:¥12,932 (税込)

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