＜特長＞
・小さいサイズながらも、大きな排気速度です。
・装置組込みに適したコンパクトサイズです。
・マグネットカップリング構造により、軸シールからの油漏れが無く、長寿命化を実現しました。
・吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、停止時にポンプ内部が自動的に大気開放します。
・電源コード差込口インレットによる、電源コードの多様化へ対応しました。
・強制給油機構の搭載により、排気速度が安定します。
・大気圧からの作動が可能です。

＜用途＞
・理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。
・真空排気装置、電子顕微鏡のバック。
・半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。
・真空乾燥器、凍結乾燥器。
・リークディテクタ。

＜仕様＞
・排気速度(L/min)50/60Hz:30/36
・到達圧力(Pa):0.67
・吸気口径:KF-16
・電源(V):単相100-120
・全幅×全長×全高(mm):120×288.5×163
・騒音値(dB):-
・使用油:R-2
・2段排気方式
・CEマーキング自己宣言品
・TUU、CTUVUS認証取得品
・異電圧対応可能(要相談)
・TUV・cTUVus認証取得品

＜注意＞
・真空ポンプ油は運転とともに劣化し、性能不足の要因となります。定期的に油の減少や汚れを確認し、補充や交換をしてください。
・排気口からの油煙(オイルミスト)が大気圧付近では特に発生します。
・排気口を塞いだり、排気口側にガスの通過を妨害する機器を付けた状態で、ポンプを運転すると破裂の恐れがあります。ポンプ内圧が上昇して、ポンプ本体が破裂したり、オイルレベルゲージが飛び出したり、モータが過負荷になる恐れがあります。
・このモータの過負荷保護装置は、自動復帰型です。